水下γ能譜儀是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B－U的元素，EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析，以及特定區(qū)域之point、linescan、mapping分析。

 

　　水下γ能譜儀工作時(shí)，當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測(cè)器后，在Si（Li）晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對(duì)。產(chǎn)生一個(gè)空穴對(duì)的平均能量ε是一定的（在低溫下平均為3.8ev），而由一個(gè)X射線光子造成的空穴對(duì)的數(shù)目為N＝△E／ε，因此，入射X射線光子的能量越高，N就越大。

 

　　水下γ能譜儀利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對(duì)，經(jīng)過前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖，電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器，脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計(jì)數(shù)，這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。

 

　　水下γ能譜儀分析數(shù)據(jù)注意事項(xiàng)：

 

　　1、主要用于元素的定性分析；

 

　　2、能譜儀能夠分析原子序數(shù)大于5的元素，波譜儀可以分析原子序數(shù)從4～92之間的所有元素；

 

　　3、EDS的分析方式有點(diǎn)分析、線分析和面分析；

 

　　4、點(diǎn)分析得到一點(diǎn)的所有元素；

 

　　5、線分析每次對(duì)一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；

 

　　6、面分析對(duì)一個(gè)面內(nèi)的所有元素分析，測(cè)得元素含量是測(cè)量面范圍的平均值；

 

　　7、EDS做微區(qū)分析時(shí)所激發(fā)的體積為10um3左右；

 

　　8、EDS常常與SEM結(jié)合使用，可對(duì)目標(biāo)部位進(jìn)行點(diǎn)、線、面形貌掃描和成分分析；

 

　　9、檢測(cè)極限：0.1％，只能做半定量分析，精度一般在1％到5％，深度一般為1～5微米。